無塵室工程 CLASS 100區測試規範

無塵室工程  CLASS 100區測試規範

運轉測試及工程驗收

1. 測試方試以NEBB環境系統測試平衡及調整程序標準執行，使系統運轉後對無塵室環境做設計條件的測試紀錄，以證明系統已達適當調整及平衡，並證明其功效符合設計要求。
2. 無塵室空調工程驗收標準及方法測試依據：NEBBStandard、ISO14644
3. 測試設備：微粒子計數器(設備型號：TSIAEROTRAK9306-04)
4. 測試目的：此檢測動作在於確認無塵室潔淨度等級是否達到設計要求值。
5. 測試位置：在該房間內取平均位置做測試，盡量避免隔間死角及靠牆面區域。
6. 驗收標準及方法，依NEBBProceduralStandardsofCertifiedTestingofCleanRoom（SecondEdition1996）：

(1).靜態測試條件：無塵室之靜態測試條件為工程完成時，僅空調設備開啟狀態下測試。

(2).動態測試條件：無塵室之動態測試條件為工程完成後空調設備開啟及業主設備開啟狀態下測試。

(3).須要記錄無塵區域之測試環境，測試環境含房間塵粒測試項目。

(4).測試位置及測試數：依非單一方向無塵區之等級所需要之測試點數參照下表。

(5).測試位置注意事項：

A.    每間房間至少兩點以上的取樣點，每100m2取6點測試，依比例計算點數。

B.    B.測試點要求平均分配。

C.    各測試點取一點取樣數。

7. 設備條件：量測設備須經過校正合格且仍在有效期限內。
8. 測試步驟：確定無塵室已清潔完成、無塵室空調設備已運轉1小時以上且測試時室內無人員走動及影響測試的條件下，才可進行環境微粒子測試，參照圖面之測試點位及確認編號後，將微粒子計數器之測試口置於離地面120cm處測量之，每點量測一次，量測時間為1分鐘，空氣吸取量為1CFM，測試人員必須離測試吸入口3米以上。
9. 驗收標準：依照下圖ISO14644-1Version2015規範標準計數位數資料，以M3.5表格為驗收條件。